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科学家使用电子束“雕刻”出世界最小设备
来源：中国创网 作者： 浏览：
次 发布时间：2007-11-16 |
教育部科技发展中心网2007年6月20日报道美国Pennsylvania大学的物理学家们使用一种新技术制造出了迄今为止最小的金属纳米结构，每个结构都小于10纳米。他们的结果发表在最新的《Nano Letters》上。
这项技术中使用透射电子束切除印刷术（TEBAL）来在金、银、铝等金属薄片上“雕刻”出纳米结构。TEBAL提供了一个生产高质量微型设备的可靠方法，这些设备因其新奇的机械性能而有潜力应用在下一代的传感器和电子设备中。这项技术还可以在制造过程中同时对设备进行实时的原子成像。
传统制造纳米设备的方法也涉及电子束印刷术，但是需要使用聚合物和化学物质，而金属是蒸发在上面的。这样制造出的设备的典型尺寸为50nm，很少有能达到10纳米的。
领导研究小组的Marija Drndić说：“人们采用了很多方法来制造探测纳米尺度现象的微型设备，但是大多数广泛而通用的技术都局限在几十个纳米。自上而下可靠而连续地制造10纳米以下的设备仍然是个挑战，但是我们的工作为这指出了道路。”
此外，TEBAL方法还能够在纳米结构和提供电源的导线之间形成一个几乎无电阻的连接。小组的科学家们使用电子束的高级控制技术制造了许多同样的结构。这种高速制造微型设备的能力，能够为关于分子尺度金属的机械和导电性能的研究提供所需样品。他们下一步将使用计算机来更快速地制造更复杂的微型设备。 |
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